tantalum based dielectric film
定义 中文名称： 钽基介电薄膜 英文名称： tantalum based dielectric film 定义： 用溅射法在基片上沉积的以金属钽为基的介电薄膜材料。 应用学科： 材料科学技术（一级学科）； 金属材料（二级学科）； 有色金属材料（二级学科）；高
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中文名称 钽基介电薄膜 定 义 用溅射法在基片上沉积的以金属钽为基的介电薄膜材料。 应用学科 材料科学技术（一级学科），金属材料（二级学科），有色金属材料（三级学科），高熔点金属及其合金（四级学科）
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