...MOS 工艺；MEMS；钨电阻；钨微热板 [gap=1059]Keywords: CMOS technology; MEMS; tungsten resistor; tungsten micro-hotplate; ...
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钨微热板
Tungsten microhot plate
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本文的钨微热板的设计可以应用到相关的与标准CMOS工艺兼容的热传感器的设计之中。
The design of the tungsten micro-hotplate can be applied to other thermal-based sensors in the standard CMOS process.
youdao
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