直流磁控溅射法低温制备GZO:Ti薄膜及其光电性能研究 用直流磁控溅射法在玻璃衬底上成功制备出了钛镓共掺杂氧化锌(GZO:Ti)透明导电薄膜,研究了溅射压强和功率对GZO:Ti薄膜的微观结构和光电性能的影响。
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钛镓共掺杂氧化锌
Titanium-gallium co-doped zinc oxide
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