【金属辅助化学蚀刻】

金属辅助化学蚀刻

MAC ETCH

而美国伊利诺大学开发出的金属辅助化学蚀刻(Metal-assisted chemical etching,MAC Etch)技术，是将一片已刻妥晶圆表面欲蚀刻图像的金属薄膜，覆盖在砷化镓晶圆上，然后将砷化镓晶圆浸入MAC E...

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Metal-assisted chemical etching

而美国伊利诺大学开发出的金属辅助化学蚀刻(Metal-assisted chemical etching,MAC Etch)技术，是将一片已刻妥晶圆表面欲蚀刻图像的金属薄膜，覆盖在砷化镓晶圆上，然后将砷化镓晶圆浸入MAC E...

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短语

金属辅助的化学刻蚀 Metal-Assisted Chemical Etching ; MACE

金属辅助化学蚀刻

Metal-assisted chemical etching

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