...用以此源为基础的注入机获得很多种束流大、能量高的金属离子束进行材料改性研究[3 ] 。本文采用以金属蒸汽真空弧离子源( MEVVA源 )为基础的强束流金属离子注入机 ,选择硬质铝合金的通常掺杂元素钼 ,对其在铝中分布以及钼化物的形成规律进行了研究。
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金属蒸汽真空弧离子源
Metal vapor vacuum arc ion source
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