会议名称(中文)： 第十三届全国金属有机化学气相淀积( MOCVD )学术会议 会议名称(英文)：
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Metal-organic Chemical Vapor Deposition
Gd_2O_3高K栅介质薄膜的生长及表征--《中国科学技术大学》2010年硕士论文 激光沉积（Pulsed Laser Deposition , PLD） 16-17 1.3.2 金属有机化学气相淀积(Metal Organic Chemical Vapor Deposition, MOCVD) 17-18 1.3.3 分子束外延工艺（Molecular Beam Epitaxy ,MBE
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