代表产品有美国 5．刻蚀：采用干法刻蚀（Ery Eatching） 的Ultrotec。 6．去胶：化学方法及干法去胶 存在问题是： 1丙酮中，然后用无水乙醇 （1）Mask难做，要求平坦，不能有缺陷。
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采用干法刻蚀
Dry etching is adopted
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