【通过终端盒】

通过终端盒

真空扩散泵 - CNKI知识搜索腔、真空泵、真空阀门和真空表构成的,真空控制单元(Vacuum Con-trol Unit,VCU)通过终端盒(Terminal Box,TB)控制各真空组件。真空泵分为2级,初级为循环泵,次级为油扩散泵;真空表分别检测真空腔的压力和油扩散泵自

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Terminal Box

真空扩散泵 - CNKI知识搜索腔、真空泵、真空阀门和真空表构成的,真空控制单元(Vacuum Con-trol Unit,VCU)通过终端盒(Terminal Box,TB)控制各真空组件。真空泵分为2级,初级为循环泵,次级为油扩散泵;真空表分别检测真空腔的压力和油扩散泵自

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通过终端盒

Through terminal box

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