对于化学放大胶，通常用四甲基氢氧化铵（tetramethylammonium hydroxide,TMAH）作为显影液，一般浓度定为0.26 N（当量浓度），根据具体实验结果可作略微调整。
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通常用四甲基氢氧化铵
Tetramethylammonium hydroxide is usually used
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