最近我们提出Ga加-GaAIAs多层结构的掩蔽与选择性热氧化(MSTO)技术“‘,并应用于半导体激光器和无源光波导,本文的目的是进一步研究这种多层结构中的应力和光弹性效应问题。 本文的
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选择性热氧化
Selective thermal oxidation
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