提出并研制了SOI退火推进型栅控混合管(DGCHT)新结构,获得发明专利。采用互补多晶硅栅和凹陷沟道技术于1997年成功地研制出沟道长度为0.15mm性能优良的新型凹陷沟道全耗尽SOI ...
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退火推进型栅控混合管
Annealed propeller grid-controlled mixing tube
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