...形转移到晶圆片上时便会产生严重的失真，引起电路单元功能失效等不良后果，这被称为光学邻近效应(OPE，Optical Proximity Effect)[1-2]。图中T 形掩模和矩形掩模的光刻胶曝光图形显示了拐角的圆化和直边的毛刺。
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这被称为光学邻近效应
This is called the optical proximity effect
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