对Si02/SiC结构的界面态组成,目前比较一致的看法认为存在以下几种界 面态:近界面缺陷(NearInterface Traps,NITs)、碳团簇(Carbon Clusters)和悬挂键 (DanglingBonds)。
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对Si02/SiC结构的界面态组成,目前比较一致的看法认为存在以下几种界 面态:近界面缺陷(NearInterface Traps,NITs)、碳团簇(Carbon Clusters)和悬挂键 (DanglingBonds)。
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