过滤阴极真空电弧制备非晶金刚石红外保护膜 - TNMSC 关键字: 非晶金刚石； 过滤阴极真空电弧； 红外保护膜[gap=1673]Key words: amorphous diamond; filtered cathodic vacuum arc; protective coatings
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过滤阴极真空电弧
Filter cathode vacuum arc
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采用过滤阴极真空电弧技术并施加一定的衬底负偏压，在P（100）单晶硅片上制备出四面体非晶碳薄膜。
Tetrahedral amorphous carbon (ta-C) films have been deposited on P-type (100) polished c-silicon wafer with different substrate negative bias by filtered cathodic vacuum arc technology.
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