工艺中，将使用名为的技术“边缘限定硅膜生长( EFG， Edge defined Film-fed Growth)”生产硅片。 与传统的用锯切割硅块生产硅片方法不同， 使用EFG技术直接从硅熔炉中拉出八角形的中空柱...
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边缘限定硅膜生长工艺 edge-defined film-fed growth
边缘限定硅膜生长
Edge-limited silicon film growth
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