【正文快照】： 据《Semiconductor Manufacturing》2008年第7期报道,SEMI设备生产效率工作组(EPWG)近日宣布,通过对450mm晶圆技术进行公开、严谨和辨证的分析后得出结论:从目前来看,发展450mm晶圆目前对整个半导体产业不利。
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设备生产效率工作组
Equipment Production Efficiency Working Group
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