表面等离子体共振(surface plasmon resonance)
...资料而被强调出来。因此，存在用于能一致侦测金属沉积之后的半导体晶圆的埋入空穴的方法及设备的需求。技术实现思路本揭露的一个方面是使用表面等离子体共振(SPR)一致侦测金属沉积之后半导体晶圆的埋入空穴的方法。本揭露的其它方面是包含能侦测半导体晶圆上的埋入空穴的改良的表面等离子体共...
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表面等离子体共振(surface plasmon resonance)
surface plasmon resonance
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