1、空气隙型 此种FBAR是基于MEMS的表面微加工技术（surface micromachining），在硅片的上表面形成一个空气隙以限制声波于压电震荡堆之内。
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表面微加工技术
Surface microfabrication technology
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针对激光陀螺反射镜常用材料微晶玻璃的加工技术，介绍了一种较为成熟的超光滑表面加工方法—定偏心浸液式抛光。
Nano-particle colloid jet polishing is a new kind of ultra-precision machining technology which has important research and application value in fabricating ultra smooth surface.
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