XRD结果表明，所制备的ZnO薄膜结晶性能良好，具有高度的（002）的择优取向，002衍射峰的半高宽（FMHM）为0．115°。所制备的ZnO薄膜透明，透过率超过85％。
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衍射峰的半高宽
The half-height width of the diffraction peak
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