... 蚀刻曲线;etching curve 蚀刻气体;etching gases 光刻蚀;photoetching ...
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蚀刻气体
Etching gas
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可以以在工业上有利 的方式生产可用作低温制冷剂或蚀刻气体的高纯度1，1-二氟乙烷。
High-purity 1,1-difluoroethane usable as a cryogenic refrigerant, or as an etching gas, can be produced in an industrially advantageous manner.
youdao
蚀刻气体，气体工业名词，蚀刻就是把基片上无光刻胶掩蔽的加工表面如氧化硅膜，金属膜等蚀刻掉，而使有光刻胶掩蔽的区域保存下来，这样便在基片表面得到所需要的成像图形。
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