薄膜混合集成电路（thin film hybrid integrated circuit）是指在同一个基片上用蒸发、溅射、电镀等薄膜工艺制成无源网路，并组装上分立的微型元件、器件，外加封装而成的混合集成电路。
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薄膜和混合集成电路 Film and hybrid integrated circuits
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