与传统电池相比， 薄膜微电池 （ Thin Film Batteries ）具有独特的上风：它不仅在外面上突破了传统电池的单一性、厚重性，更为紧张的是因为它体积小、厚度薄，因此这种薄膜电源可像平...
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实现高速沉积对于薄膜微晶硅太阳电池产业化降低成本是一个重要手段。
To realize high deposition rate is an important problem in low-cost industrialization of microcrystalline silicon solar cells.
本文对VHF PECVD制备的本征微晶硅薄膜和电池进行了电学特性和结构特性方面的测试分析研究。
The electrical and structural properties of microcrystalline silicon thin film and solar cells fabricated by VHF-PECVD were studied.
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