黄德进和马廷锋重点介绍了压电陶瓷与薄膜尤其是薄膜体声波滤波器(FBAR)的结构原理、材料体系以及制备工艺等方面的研究进展和技术需求。
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薄膜体声波滤波器
Thin-film bulk acoustic wave filter
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