世界级制造能力 ail Guided Vehicles, RGV)的Intrabay运送法来运载晶圆。相较于标准的8英寸晶圆厂自动导引车(Automatic Guided Vehicle, AGV)系统，新系统可增加3至4倍的效率。又如位于新加坡的UMCi，强调设备对设备间的直接运送，以增加作业上
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世界级制造能力 ail Guided Vehicles, RGV)的Intrabay运送法来运载晶圆。相较于标准的8英寸晶圆厂自动导引车(Automatic Guided Vehicle, AGV)系统，新系统可增加3至4倍的效率。又如位于新加坡的UMCi，强调设备对设备间的直接运送，以增加作业上
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