采用VICI（Valco）公司的脉冲氦离子化检测器（PDHID），该检测器对几种杂质的检测限见表。 所选用的进样/切换阀均为VICI公司的吹扫型产品。
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脉冲氦离子化检测器
Pulsed helium ionization detector
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