本论文分别采用直流反应磁控溅射（DMS）和能量过滤磁控溅射（EFDMS）技术，以玻璃为衬底制备了TiO2薄膜和纳米TiO2/ITO复合薄膜。
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能量过滤磁控溅射
Energy-filtering magnetron sputtering
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