energy dispersive X-ray detector
... 操作不当造成芯片沾污等,还可以利用聚焦离子束(focused ion beam,FIB),能量弥散X射线探测器(energy dispersive X-ray detector,EDX)等分析手段。
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...作不当造成芯片沾污等,还可以利用聚焦离子束(focused ion beam,FIB),能量弥散X射线探测器(energy dispersive X-ray detector,EDX)等分析手段。
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