背散射能谱分析（RBS，Rutherford Backscattering Spectrometry）的主要目的是测定背散射粒子的能谱，并分析能谱信息。
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背散射能谱分析(RBS，Rutherford Backscattenng Spectromctry)的主要目的是测定背散射粒子的能谱，并分析能谱信息。
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背散射能谱分析
Backscattered energy spectrum analysis
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