【聚焦离子束刻蚀】

聚焦离子束刻蚀

feeusedionbeam lithograplay

1．3．4聚焦离子束刻蚀 聚焦离子束刻蚀（feeusedionbeam lithograplay，FIB）是利用聚焦的离子（典型的如cn束，辅助一定的物理或化学手段在有机或无机掩膜材料的配合下，增加或消...

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FIB

1．3．4聚焦离子束刻蚀 聚焦离子束刻蚀（feeusedionbeam lithograplay，FIB）是利用聚焦的离子（典型的如cn束，辅助一定的物理或化学手段在有机或无机掩膜材料的配合下，增加或消...

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聚焦离子束刻蚀

Focused ion beam etching

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根据目前的实验研究报道，这种周期结构金属薄膜通常利用聚焦离子束刻蚀工艺来获得，器件的光学响应在可见光波段和近红外波段。

In most of the experiments reported to date, the perforated metal films were fabricated by the focused-ion-beam method, and their transmission enhancement was in the visible and near-infrared regions.

youdao

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