feeusedionbeam lithograplay
1.3.4聚焦离子束刻蚀 聚焦离子束刻蚀(feeusedionbeam lithograplay,FIB)是利用聚焦的离子(典 型的如cn束,辅助一定的物理或化学手段在有机或无机掩膜材料的配合下,增 加或消...
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