高的灵敏度和准确度，其精度可达0.001nm，但其测量范围受激光器的调频范围的限制，仅有0.1μm。而扫描电子显微镜（SEM，Scanning Electric Microscope）可使几十个原子大小的物体成像。 美国ZYGO公司开发的位移测量干涉仪系统，位移分辨率高于0.6nm
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高的灵敏度和准确度，其精度可达0.001nm，但其测量范围受激光器的调频范围的限制，仅有0.1μm。而扫描电子显微镜（SEM，Scanning Electric Microscope）可使几十个原子大小的物体成像。 美国ZYGO公司开发的位移测量干涉仪系统，位移分辨率高于0.6nm
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通过扫描电子显微镜(SEM)很容易看到，金刚石涂层的形貌因工艺参数的变化而变化。
The morphological changes of diamond coatings with variation of process parameters can easily be seen by scanning electron microscopy (SEM).
这些图片有些是采取了传统相机的宏观镜头，而另一些则使用的内窥镜。 扫描电子显微镜技术使尼尔森拍摄的图像能放大数十万倍。
Some of these pictures were taken with conventional cameras with macro lenses, while others were taken with the use of an endoscope.
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