分析了因微结构弹性力与静电力的耦合作用而产生的吸合效应(pull-in or snap-down)。基于小挠度变形理论,提出了一种计算静电致动微梁变形的数值方法和解析公式,求解了微梁的临界挠度(pull-in deflection),分析了用...
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而产生的吸合效应
And the resulting attraction effect
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