内容简介 绝缘衬底上的薄膜硅材料（Silicon-on-insulator，SOI）是一种新型的硅材料，近年来在半导体光电子学领域的应用日益广泛。
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...项: 本书主要供从事半导体集成光学和导波光学器件研究及研制的工作人 附注项: 缘衬底上的薄膜硅材料（Silicon-on-insulator，SOI）是一种新型的硅材料，近年来在半导体光电子学领域的应用日益广泛。
缘衬底上的薄膜硅材料
Thin film silicon material on edge substrate
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