(11) 的图案形成方法是使用缓冲氢氟酸(朋F)来作为显影液。缓冲氢氟酸(BHF) 是指混合氢氟酸与氟化铵而成的溶液。由本发明的膜形成组合物所构成的涂膜,通过第 一焙烧工序,有时会成为玻璃状。
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缓冲氢氟酸
Buffer hydrofluoric acid
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