SPC在半导体晶圆制造厂的应用 - 中国电梯资讯网 ocessControl，APC）研讨的目的就是有效的监控工艺过程与机台，以前进良率和整体设备效能。而统计过程节制(StatisticalProcess Control，SPC)是目前国内外生长APC最常用的一种技能，本文将首要叙述SPC在半导体晶圆制造厂的应用。 2 SPC
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统计过程节制
Statistical process moderation
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