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绝缘体上的锗硅技术 SiGe on Insulator ; SGOI
·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
报道了一种用电子束曝光的方法在绝缘体上硅的脊状光波导上制做布拉格光栅的技术。
The fabrication of Bragg gratings on silicon-on-insulator (SOI) rib waveguides using electron-beam lithography is presented.
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