管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择高等级的316LEP管，经电解抛光(Electro-Polish)处理，耐侵蚀，表面粗拙度低，Rmax(maximum peak to valley height)约为0.3μm以下，其值远低于经由光辉烧结(Bright Anneal)处理...
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经电解抛光
Electrolytic polishing
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