Chase),将净室之循环风量与外气空调箱之补充风量混合,经由冷却盘管(Dry Cooling Coil)将回风管道间之回风降温至净室要求之规格,透过循环风扇(Fan Filter Unit 或 FFU)带动净室的气流循环带走微尘及热量,最后经过超高...
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经由冷却盘管
Via cooling coils
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