文章介绍了一种高精度位移测量方法,以LabVIEW作为工具,对高精度线性衍射光栅干涉仪(LDGI)的正交弦波信号进行采集、处理和分析,进行准确、快速的计数和细分,计算出精确的位移,并进行方向判断.
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Linear Diffraction Grating Interferometer
...对的纳米三坐标测量机须实现20mm×20mm×10mm的量程,以自行开发的线性衍射光栅干涉仪(Linear Diffraction Grating Interferometer,LDGI)作为位移传感器,以DVD测头作为Z轴触发探头。
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