MEMS(微机电系统)和NEMS(纳米机电系统)是由薄膜和复合纳米材料。纳米压痕测试方法已被成功地用来测量在亚微米和纳米尺度材料的力学性能。
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nano electro mechanical system
碳纳米管压力传感器及其压力感测方法 合应用在不同的微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System)或纳米机电系统(NEMS,Nano-Electro-Mechanical System)中。 主权项 1.一种碳纳米管压力传感器,其特征在于该压力传感器包括至少一碳纳米管, 每个碳
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