书 名: 纳米压印技术 作 者：孙洪文 出版社： 电子工业出版社 出版时间： 2011年1月1日 ISBN: 9787121121999 开本： 16开 定价: 36.00元
聚合物微纳结构热压印及操作机械手改进研究 - docin.com豆丁网 数字微镜器件）、压力传 感器、惯性传感器、微流控器件、RFMEMS、硅麦克风及微型燃料电池llJ。 纳米压印技术（Nanoimprintlithography，NIL）是制作MEMS器件的核心技术之一， 1995年首先由美国普林斯顿大学华裔科学家周郁提出【2J。这项技
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...藏到书房 47p doc 软刻蚀方法复制仿生微纳结构 当前微电子加工技术已经进入纳米时代，纳米压印技术(nanoimprint lithograhpy, NIL)极有可能成为下一代光刻技术，因为它具有工艺简单直接、成本低、效率高的优点。
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纳米压印技术是一种高分辨率、廉价、高效的纳米结构制备技术。
Nanoimprint is a high resolution, high throughput, low cost lithographic method.
本发明属于光子晶体技术领域，具体为一种由纳米压印技术制备水凝胶可调谐振光子晶体。
The invention belongs to the technical field of photonic crystal, in particular to an adjustable hydrogel resonance photonic crystal prepared with the technology of nanometer impression.
纳米压印技术通过压印实现了纳米结构的图形转移，具有分辨率高、效率高、成本低的优点。
By pressing, nano-imprinting lithography technology to complete the pattern transfer of nano-structure is characterized by high resolution, high efficiency and low cost.
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