...大学学报杂志社 关键词:纳米二维定位平台； 磁浮式； 共平面； 阿贝误差； 力平衡 [gap=848]Key words:two-coordinate platform； magnetic suspension； the same plane； Abbe error； force balance ..
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纳米二维定位平台
Nano two-dimensional positioning platform
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