...微型传感器、微型实行器及旌旗灯号处理和节制电路，直至接心、通信和电源等成为一体的微型器件或系统；而纳电子机械系统（NEMS）是上世纪90年月终提出的新概念，是继MEMS后在系统特征尺寸和效应上具有纳米技术特性的一类超小型电机一体化系统，一样平常指特点...
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纳电子机械系统
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纳米电子机械系统 NEMS ; Nano Electro-Mechanical Systems
Nanoelectronic mechanical system
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