roughing pump
... Measurement range（漏率测量范围） Roughing pump（粗抽泵） : 5.4m3/h双级直联真空泵 ...
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... 1.主泵main pump： 2.粗抽泵roughing vacuum pump： 3.前级真空泵backing vacuum pump： ...
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从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗抽泵。
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