离子能量分布函数（IEDF）中高能量金属离 子的比例随靶峰值电流的增加单调增加。在较高的气压下，较高能量的离子较少，离 子能量分布函数（IEDF）主要包含...
基于20个网页-相关网页
离子能量分布函数
Ion energy distribution function
以上为机器翻译结果，长、整句建议使用 人工翻译 。
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动