已取得了离子束诱导外延的结晶（IBIEC）的，这就会引起一个纳米晶SiC层的层中重结晶。然而，重结晶是不完整的，观察仍然存在的Si-Si键和C-C键中的非晶相。
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离子束诱导外延的结晶
Ion beam-induced epitaxial crystallization
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