...TiN薄膜,由于针孔等微观缺陷的存在,耐蚀性降低,特别是耐孔蚀性能很差[4-5],这大大限制了TiN薄膜的应用.离子束增强沉积技术(IBED)是将离子注入与沉积薄膜相结合的一种新型薄膜制备技术,具有改善薄膜附着性、增加致密度、有效调控薄膜成分等优点[6-7].
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离子束增强沉积技术
Ion beam enhanced deposition technology
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