一种以多晶硅为振动膜的MEMS传声器研制_电子资料文库 关键词:电容式传声器;MEMS器件;多晶硅薄膜;磷硅玻璃牺牲层 [gap=937]Key words:silicon microphone;MEMS device;polysilicon diaphragm;sacrificial PSG
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磷硅玻璃牺牲层
Phosphate-silicon glass sacrifice layer
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