此外，大量硼元素被使用在多晶矽掺杂、基板掺杂，或 硼磷矽玻璃 ( BPSG )中。当这些常见的硼同位素(10B)之一被某一低能量(热能)中子击中，即所谓中子捕获，就会产生一个锂离子和一个阿尔法粒子。
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硼磷硅玻璃boro-phospho-silicate-glassBPSG 这是一种掺硼的SiO2玻璃可采用CVD方法SiH4+O2+PH3+B2H6400oC~450oC来制备BPSG与PSG磷硅玻璃一样在高温下的流动性较好广泛用作为半导体芯片表面平坦性好的层间绝缘膜
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