出版社: 中国宇航出版社; 第1版 (2003年1月1日) 外文书名: Mechanical Microsensors 精装: 306页 正文语种: 简体中文 开本: 32 ISBN: 7801446062 条形码: 9787801446060 商品尺寸: 21.4 x 15.2 x 2.2 cm 商品重量: 499 g ASIN: B0011C7YZA
文中介绍硅微机械谐振真空传感器的特点及配套研制的真空计。
This paper presents the characteristics of silicon micromachining resonance vacuum sensor and a vacuum meter utilizing this sensor.
利用微机械体硅工艺及键合技术,把系统中的测试机构、加载机构以及力传感器集成在一个单一的芯片上。
The loading structure, testing part and force sensors were all integrated on a single chip by bulk silicon technology and bonding process.
介绍一种新颖的全光型硅微机械流量传感器。
A novel silicon micro mechanical sensor of all optical type is proposed.
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