硅岛膜
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Silicon island film
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岛面密度与膜厚的依赖关系表明，在临界厚度时硅衬底和玻璃衬底上的岛面密度均出现了极大值。
The film thickness dependence of island density shows that a maximum of island density appears at the critical film thickness for both substrates.
youdao
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